主要性能指标
加速电压: 20 ~ 200 kV;
信息极限分辨率: £0.14 nm;
STEM分辨率:0.20nm;
FEG最小束斑 £ 0.3nm;
相机常数: 30~4500 mm;
电子束最大会聚角: ±13°;
远程操作接口, 自动光阑接口;
电子枪: FEG, 能量分辨率£0.7eV;
点分辨率: 0.24 nm;
Cs (mm) / Cc (mm) 1.2 / 1.2;
TEM放大倍数: 60 ~ 1000kx;
样品最大倾角: ±40°;
一体化能谱仪和CCD相机;
仪器功能和附件
该电镜完全数字化,直接由一台计算机控制。高分辨率分析系统完整,稳定,灵活。多用户界面、控制板面、各个功能模式能灵活切换。本中心为该仪器配备了STEM, EDX, CCD, HAADF等多种附件,能采集TEM明场、暗场像和高分辨像,能进行选区电子衍射和汇聚束衍射,能进行EDX能谱分析和高分辨STEM原子序数像的分析,STEM结合EDX点、线、面扫描的可以进行微区能谱分析。本中心的透射电子显微镜实验室还配备了一整套相关的制样设备,包括GATAN离子减薄仪、LEICA冰冻超薄切片机、磁力双喷电解减薄器和凹坑仪等,可以进行生物、高分子材料以及金属等样品的透射电子显微镜制样工作。
仪器使用范围
广泛应用于生物学、医学、化学、物理学、地质学,金属、半导体材料、高分子材料、陶瓷、纳米材料等领域。是研究各种材料的超显微结构与性能关系所不可缺少的工具。