主要性能指标

分析室真空度优于7×10^-10mbar，检出限：原子百分比1%。使用单色化X射线源时，大束斑灵敏度：Ag 3d5/2峰的能量分辨优于0.48 eV @ 450 kcps，15μm束斑灵敏度：Ag 3d5/2峰的能量分辨优于0.48 eV @ 450 kcps。使用双阳极X射线源时，大束斑灵敏度：Ag 3d5/2峰的能量分辨优于0.8 eV @ 1100 kcps。具备快速平行成像、扫描成像、从图得谱三种XPS成像功能。深度剖析离子枪离子能量100 eV–4 keV连续可调，束斑直径400μm - 1.5 mm可调。

仪器功能

固体样品表面成分、化学状态分析、表面成分深度分析、样品表面元素相对含量的测定、表面化学状态成像分析。

仪器使用范围

化学、化工、材料学、物理学、地质学、生物学、医学、轻纺、食品、通信等。

送样须知

见附件