主要性能指标

1、高真空模式成像：≦0.8nm@15kV，≦0.8nm@1kV，≦0.9nm@500V、≦1.8nm@100V

2、低真空模式成像：≦1.2nm@15kV、≦1.8nm@3kV

3、样品仓：≧330mm，X≧110 mm；Y≧110mm，Z≧60mm

4、双能谱探头：

1）无窗型超级能谱仪主要指标：无窗型电制冷探测器，探测器有效面积100mm².，高分辨Mapping图像，元素分析下限: Li3。

2）有窗型能谱仪主要参数指标：电制冷探测器，有效面积80mm²,元素分析范围: Be4～Cf98。

3）Aztec Live实时交互平台，能够实现实时面分布成像功能，随着样品的移动，实时刷新元素面分布信息。

4）Feature颗粒度分析软件

5、电子背散射衍射仪（EBSD）：高灵敏度CMOS相机,分辨率1244*1024

仪器功能和附件

功能：

1）观察高分辨的微观结构与形貌；

2）能谱用于材料的微区成分定性、定量分析；元素分析下限: Li3；高分辨Mapping；实时能谱面分布成像。

3）EBSD用于微区电子背散射衍射分析。

附件：能谱仪、EBSD检测器、原位拉伸装置、离子束研磨仪（徕卡）、全自动临界点干燥仪（徕卡）、精研一体机（徕卡）

仪器使用范围

广泛应用于材料、生命科学、医学、物理、地矿、化工、化学、冶金、机械、制药等多个领域的科学研究和质量检测。