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冷场发射高分辨扫描电镜及能谱分析系统

  • 日立电子(JEOL)、牛津仪器
  • JSM7500F型、INCA X-Max50
  • 王 辉

主要性能指标

1、加速电压:0.1kV-30kV;分辨率:1.0nm(15kV),1.4nm(1kV);放大倍数:x25-x800,000。

2、能谱:电制冷探测器,有效面积50mm2,元素分析范围: Be4~U92。

仪器功能和附件

功能:

1)观察高分辨的微观结构与形貌;

2)能谱用于材料的微区成分定性、定量分析;

附件:

能谱仪、英国Quorum离子溅射仪、临界点干燥仪

仪器使用范围

广泛应用于材料、生命科学、医学、物理、地矿、化工、化学、冶金、机械、制药等多个领域的科学研究和质量检测。