主要性能指标
1、 分辨率：高真空模式3nm@15 kV
2、 能谱主要参数指标：电制冷探测器，有效面积20mm2,元素分析范围Be4～Cf98。
3、 电子背散射衍射仪（EBSD）
4、Feature颗粒度分析软件
仪器功能和附件
功能：
1）、观察微观结构与形貌；
2）、能谱用于材料的微区成分定性、定量分析；
3）、EBSD用于微区电子背散射衍射分析。
附件：能谱仪、EBSD检测器
仪器使用范围
广泛应用于材料、生命科学、医学、物理、地矿、化工、化学、冶金、机械、制药等多个领域的科学研究和质量检测。
