主要性能指标
XY方向闭环噪音小于0.10nm，开环噪音小于0.05nm，Z方向闭环噪音小于0.05nm，开环噪音小于0.02nm。液体中可获得方解石原子像及点缺陷,空气中获得石墨原子像。
仪器功能
接触模式，轻敲模式，高速成像功能，环境控制功能，快速力曲线功能，压电响应力显微镜（PFM），变温功能，导电原子力显微镜，横向力/摩檫力显微镜，磁力显微镜，静电力显微镜，表面电势显微镜，电化学AFM，纳米刻蚀/操纵功能等。
仪器使用范围
无机物、高分子等及生物学表面，材料纳米尺度的形貌观测，颗粒形状、尺寸及粒径的分布；力学及其他：材料表面光洁度测定，导电性、畴结构、磁场、摩擦力、静电场、粘弹性等特性的测试。
送样须知
见附件
