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高分辨场发射扫描电镜配双探头能谱及EBSD分析系统

  • 赛默飞(原FEI公司)、牛津仪器
  • Apreo S型、Aztec X-Max80、AZtecLi
  • 王辉
  • 028-85416519

主要性能指标

1、高真空模式成像:≦0.8nm@15kV,≦0.8nm@1kV,≦0.9nm@500V、≦1.8nm@100V

2、低真空模式成像:≦1.2nm@15kV、≦1.8nm@3kV

3、样品仓:≧330mm,X≧110 mm;Y≧110mm,Z≧60mm

4、双能谱探头:

1)无窗型超级能谱仪主要指标:无窗型电制冷探测器,探测器有效面积100mm2.,高分辨Mapping图像,元素分析下限: Li3。

2)有窗型能谱仪主要参数指标:电制冷探测器,有效面积80mm2,元素分析范围: Be4~Cf98。

3)Aztec Live实时交互平台,能够实现实时面分布成像功能,随着样品的移动,实时刷新元素面分布信息。

4)Feature颗粒度分析软件

5、电子背散射衍射仪(EBSD):高灵敏度CMOS相机,分辨率1244*1024

仪器功能和附件

功能:

1)观察高分辨的微观结构与形貌;

2)能谱用于材料的微区成分定性、定量分析;元素分析下限: Li3;高分辨Mapping;实时能谱面分布成像。

3)EBSD用于微区电子背散射衍射分析。

附件:能谱仪、EBSD检测器、原位拉伸装置、离子束研磨仪(徕卡)、全自动临界点干燥仪(徕卡)、精研一体机(徕卡)

仪器使用范围

广泛应用于材料、生命科学、医学、物理、地矿、化工、化学、冶金、机械、制药等多个领域的科学研究和质量检测。