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双束(FIB-SEM)超高分辨场发射扫描电镜 及能谱、EBSD分析系统

  • 赛默飞(原FEI公司)、牛津仪器
  • Helios G4 UC型、Aztec Live ULTIM
  • 王辉、王珊玲
  • 85416519、85411859

主要性能指标

1、Ga离子束分辨率:2.5 nm @ 30 kV

2、电子束分辨率:0.6 nm @ 15 kV;0.7 nm @ 1 kV;1.0 nm @500 V

3、STEM分辨率:0.6 nm@30 kV

4、能谱仪:元素分析范围: Be4~Cf98,晶体有效面积:170mm2,Aztec Live实时交互平台,能够实现实时面分布成像

5、电子背散射衍射仪(EBSD):分辨率1244*1024,高灵敏度CMOS相机

6、大样品仓,仓门内径:≥330 mm

7、可进行以下4种气体的沉积:铂Pt\碳C\氧化硅\钨W

8、冷台:温控范围:+50°C至-190°C;温度稳定性:< ±1°C

9、三维重构

仪器功能和附件

功能:

1)观察高分辨的微观结构与形貌;

2)金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构;

3)高质量定点TEM样品制备;

4)化学和晶体结构三维形态分析;

5)离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积。

6)能谱用于材料的微区成分定性、定量分析,并具备实时能谱面分布成像;

7)EBSD用于微区电子背散射衍射分析。

附件:能谱仪、EBSD检测器、离子束研磨仪(徕卡)、全自动临界点干燥仪(徕卡)、精研一体机(徕卡)

仪器使用范围

广泛应用于材料、生命科学、医学、物理、地矿、化工、化学、冶金、机械、制药等多个领域的科学研究和质量检测。